中科仪北交所招股 三大国家级研发平台支撑半导体真空设备国产化

中证报中证网讯（记者 宋维东）4月10日，中科仪披露招股意向书，启动北交所招股程序。公开资料显示，中科仪主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售及相关技术服务。公司产品主要包括用于集成电路晶圆制造及光伏电池等泛半导体产品制造的干式真空泵，以及面向国家重大科技基础设施和科研领域的真空科学仪器设备。

作为中国科学院控股体系核心企业，中科仪自1958年以中国科学院直属事业单位身份成立以来，始终聚焦真空技术领域的研发与产业化。依托中国科学院体系的科研资源积累，公司搭建起真空技术装备国家工程研究中心、国家真空仪器装置工程技术研究中心、国家企业技术中心三大国家级研发平台，形成了完整的技术研发与成果转化体系。

截至2025年末，中科仪已拥有授权发明专利103项，牵头或参与制定13项国家、行业及团体标准，是国内真空技术领域标准制定的核心参与单位。成立至今，公司先后4次承担国家“02专项”研发任务，13次承接“04专项”“863计划”等国家级重点科研课题，自主研发的8项核心技术均已实现规模化产业落地。

其中，公司自主研发的无油真空技术将干式真空泵极限真空度降至0.2Pa；SGM-1200A产品实现1.2kW超低功耗、760mm×290mm精简尺寸，性能达到国际同类产品先进水平。此外，中科仪成功研制国内首台分子束外延设备（MBE），同时为北京正负电子对撞机、上海同步辐射光源等11项国家重大科技基础设施提供核心真空装备，曾荣获国家科技进步一等奖。

长期以来，半导体用干式真空泵市场被欧美、日本企业主导，国内市场高度依赖进口。而中科仪凭借多年技术积累，已实现核心产品的技术突破与规模化应用，成为国内半导体真空设备领域的核心企业。

技术层面，中科仪干式真空泵产品已全面覆盖14nm及以下先进逻辑芯片、128层及以上3D NAND存储芯片制造工艺，是目前国内唯一实现集成电路先进制程批量应用，且同时在清洁、中等、苛刻三类芯片制造工艺中完成规模化落地的本土企业。

市场层面，截至2025年末，中科仪各类干式真空泵累计出货量已突破4万台，其中集成电路领域出货量超3万台；2024年，其干式真空泵国内市场占有率达到12.72%，显著降低了国内晶圆厂商对进口设备的依赖。

客户端，中科仪产品已实现国内主流晶圆制造厂商全覆盖，同时通过台积电、SK海力士等全球头部晶圆厂商的测试验证并实现小批量出货，产品性能获得国际市场认可。除此之外，公司也是国内大科学工程关键真空部件的核心研制单位，长期为国内高校、科研院所提供核心真空装备，支撑国内基础科学研究与前沿技术创新。

技术与市场的双重突破，直接体现在公司持续增长的经营业绩上。财务数据显示，2022-2025年，中科仪营业收入从6.98亿元增长至12.91亿元，连续多年保持正增长，年复合增长率达22.75%，同期净利润也保持持续增长态势。同时，公司持续保持高比例研发投入，叠加稳健的财务结构，为后续技术研发与市场拓展提供了稳定支撑。

此次，中科仪拟将募集资金主要投向干式真空泵产业化、高端半导体设备扩产及新一代核心产品研发等项目。

相关业内人士表示，随着国内半导体产业自主可控进程持续推进，核心设备与零部件的国产化已成为行业发展的明确趋势。本次IPO募资落地后，中科仪能够进一步扩大产能、深化核心技术研发，拓展干式真空泵的应用场景，持续巩固技术领先优势，为国内集成电路产业链供应链安全提供更坚实支撑，助力国内半导体产业高质量发展。