中芯国际回应：深圳工厂进口设备非EUV光刻机

　　中证网讯（记者 吴科任）中国证券报记者3月6日下午从中芯国际获悉，日前中芯国际深圳工厂从荷兰进口了一台大型光刻机，但这是设备正常导入，用于产能扩充，并非外界所称的EUV光刻机。据悉，EUV光刻机主要用于7nm及以下制程。中芯国际目前量产的最先进制程为第一代FinFET 14nm，已贡献2019年第四季度1%营收。