新诺科技推出飞驰350无掩膜光刻设备
王珞
中国证券报·中证网
中证网讯（王珞）4月27日,国内领先的无掩模光刻设备厂商新诺科技推出飞驰系列第二款光刻机型：飞驰350及自动线飞驰350（L）。
据了解，飞驰350（L）作为飞驰300（L）的进阶产品，以“突破”“超越”为使命，致力于为客户提供更高性价比的解决方案，为客户创造更好的使用体验。作为新诺旗下飞驰系列光刻产品，飞驰350（L）不仅具备“新品牌、新外观、新配置、新性能、新性价比、新服务体系”的“六新”特性；卓越之上，在解析和产能上亦有较大突破。
新诺科技相关负责人表示，飞驰350（L）配备高精密微米级多轴运动平台，采用自研高效率光学引擎系统及完全自主创新的高稳定且长寿命激光光源，大幅提升光学引擎动力，有效确保光刻能量的均匀性、稳定性。同时，该机型搭载高速图形处理系统，采用高分辨率DMD，结合AI图形处理算法，保证了光刻图像高品质与高精度的双高特性。
飞驰350可实现量产60μm解析精度，7面/min普通干膜量产的高速产能；自动线飞驰350（L）采用超高产能架构设计，有效确保PCB生产过程的无缝衔接，不仅可实现产能翻倍且单条自动线即可满足普通干膜百万平米的年产能，大幅提高PCB生产效率，为客户创造更大的经济效益。
同时，飞驰350（L）采用高能量的优质激光光源及自主创新的光学系统设计，在专用干膜条件下，可达50μm高解析精度，可实现6面(片)/min高速量产产能，最大化满足客户高精度、高产能等多维需求。
